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Étude de couches optiques inhomogènes déposées par plasma

Daniel Poitras

Thèse de doctorat (2000)

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Renseignements supplémentaires: Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département: Département de génie physique
Directeurs ou directrices: Ludvik Martinu et Michael R. Wertheimer
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/27909/
Université/École: École Polytechnique de Montréal
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:22
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:15
Citer en APA 7: Poitras, D. (2000). Étude de couches optiques inhomogènes déposées par plasma [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal].

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