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Étude de couches optiques inhomogènes déposées par plasma

Daniel Poitras

Ph.D. thesis (2000)

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Additional Information: Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Department: Department of Engineering Physics
Academic/Research Directors: Ludvik Martinu and Michael R. Wertheimer
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/27909/
Institution: École Polytechnique de Montréal
Date Deposited: 18 Apr 2023 15:22
Last Modified: 05 Apr 2024 11:15
Cite in APA 7: Poitras, D. (2000). Étude de couches optiques inhomogènes déposées par plasma [Ph.D. thesis, École Polytechnique de Montréal].

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