O. Zabeida, A. Hallil, Michael R. Wertheimer
et Ludvik Martinu
Article de revue (2000)
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| Renseignements supplémentaires: | Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux |
|---|---|
| Département: | Département de génie physique |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/27718/ |
| Titre de la revue: | Journal of Applied Physics (vol. 88, no 2) |
| Maison d'édition: | American Institute of Physics |
| DOI: | 10.1063/1.373714 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1063/1.373714 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:22 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:15 |
| Citer en APA 7: | Zabeida, O., Hallil, A., Wertheimer, M. R., & Martinu, L. (2000). Time-Resolved Measurements of Ion Energy Distributions in Dual- Mode Pulsed-Microwave/Radio Frequency Plasma. Journal of Applied Physics, 88(2), 635-642. https://doi.org/10.1063/1.373714 |
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