Oleg Zabeida, A. Hallil, Michael R. Wertheimer
, Ludvik Martinu
Article de revue (2000)
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Renseignements supplémentaires:
Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux
Département:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Journal of Applied Physics
(
vol.
88
,
no
2
)
Maison d'édition:
American Institute of Physics
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:27718
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:22
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:03
Citer en APA 7:
Zabeida, O., Hallil, A., Wertheimer, M. R., & Martinu, L. (2000). Time-Resolved Measurements of Ion Energy Distributions in Dual- Mode Pulsed-Microwave/Radio Frequency Plasma. Journal of Applied Physics, 88(2), 635-642. https://doi.org/10.1063/1.373714
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