G. Dennler, A. Houdayer, Y. Ségui et Michael R. Wertheimer
Article de revue (2001)
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| Renseignements supplémentaires: | Nom historique du département: Département de génie physique et de génie des matériaux |
|---|---|
| Département: | Département de génie physique |
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/27460/ |
| Titre de la revue: | Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 19, no 5) |
| Maison d'édition: | American Vacuum Society |
| DOI: | 10.1116/1.1385911 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1116/1.1385911 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:21 |
| Dernière modification: | 22 mai 2024 13:52 |
| Citer en APA 7: | Dennler, G., Houdayer, A., Ségui, Y., & Wertheimer, M. R. (2001). Growth and Structure of Hyperthin SiO₂ Coatings on Polymers. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 19(5), 2320-2327. https://doi.org/10.1116/1.1385911 |
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