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Plasma-poymerized fluoropolymer thin films for microelectronic applications

M. S. Silverstein, R. Chen, Edward Sacher et L. Sandrin

Chapitre de livre (2002)

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Renseignements supplémentaires: Metallization of polymers 2. Montréal workshop on Polymer metallization held in Montréal in June 2001.
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/26285/
Date(s) de la conférence: 2001-06-27 - 2001-06-29
Éditeurs ou éditrices: Edward Sacher
Maison d'édition: Springer
DOI: 10.1007/978-1-4615-0563-1_7
URL officielle: https://doi.org/10.1007/978-1-4615-0563-1_7
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:21
Dernière modification: 21 sept. 2023 15:43
Citer en APA 7: Silverstein, M. S., Chen, R., Sacher, E., & Sandrin, L. (2002). Plasma-poymerized fluoropolymer thin films for microelectronic applications. Dans Sacher, E. (édit.), Metallization of polymers 2 (61-71). https://doi.org/10.1007/978-1-4615-0563-1_7

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