The Surface Modification of Dow Cyclotene by Low Energy N₂⁺ Beams and Its Effect on the Adhesion of Evaporated Cu Films

D. Q. Yang et Edward Sacher

Article de revue (2002)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/26184/
Titre de la revue:	Applied Surface Science (vol. 195, no 1-4)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/s0169-4332(02)00540-8
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/s0169-4332%2802%2900540-8
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:21
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:13

Citer en APA 7:	Yang, D. Q., & Sacher, E. (2002). The Surface Modification of Dow Cyclotene by Low Energy N₂⁺ Beams and Its Effect on the Adhesion of Evaporated Cu Films. Applied Surface Science, 195(1-4), 202-213. https://doi.org/10.1016/s0169-4332%2802%2900540-8
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