P. Jedrzejowski, Jolanta-Ewa Sapieha
, Ludvik Martinu
Article de revue (2003)
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Département:
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Titre de la revue
:
Thin Solid Films
(
vol.
426
,
no
1-2
)
Maison d'édition:
Elsevier
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:25837
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:20
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:01
Citer en APA 7:
Jedrzejowski, P., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2003). Relationship between the mechanical properties and the microstructure of nanocomposite TiN/SiN₁.₃ Coatings prepared by low temperature plasma enhanced chemical vapor deposition. Thin Solid Films, 426(1-2), 150-159. https://doi.org/10.1016/s0040-6090%2803%2900028-2
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