Relationship between the mechanical properties and the microstructure of nanocomposite TiN/SiN₁.₃ Coatings prepared by low temperature plasma enhanced chemical vapor deposition

P. Jedrzejowski, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2003)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/25837/
Titre de la revue:	Thin Solid Films (vol. 426, no 1-2)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/s0040-6090(03)00028-2
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/s0040-6090%2803%2900028-2
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:20
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:12

Citer en APA 7:	Jedrzejowski, P., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2003). Relationship between the mechanical properties and the microstructure of nanocomposite TiN/SiN₁.₃ Coatings prepared by low temperature plasma enhanced chemical vapor deposition. Thin Solid Films, 426(1-2), 150-159. https://doi.org/10.1016/s0040-6090%2803%2900028-2
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