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Plasma processing of thin films for optics and photonics

Ludvik Martinu

Article de revue (2003)

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Renseignements supplémentaires: Vol. 2003, Erekutoronikusu
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/25676/
Titre de la revue: Denshi Joho Tsushin Gakkai Taikai Koen Ronbunshu
URL officielle: https://www.ieice.org/publications/search/summary....
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:20
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:12
Citer en APA 7: Martinu, L. (2003). Plasma processing of thin films for optics and photonics. Denshi Joho Tsushin Gakkai Taikai Koen Ronbunshu, S.48-S.49-S.48-S.49. https://www.ieice.org/publications/search/summary.php?id=CONF0000044997%26tbl=conf%26lang=en

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