Michel Meunier
, M. Cadotte, M. Ducharme
Communication écrite (2002)
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Nom de la conférence:
3rd International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM 2002)
Lieu de la conférence:
Osaka, Japon
Date(s) de la conférence:
2002-05-27 - 2002-05-31
Titre de la revue
:
RIKEN Review
(
no
50
)
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:25652
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:20
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:00
Citer en APA 7:
Meunier, M., Cadotte, M., & Ducharme, M. (mai 2002). Laser tuning silicon microdevices for analogue microelectronics [Communication écrite]. 3rd International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM 2002), Osaka, Japon. Publié dans RIKEN Review, (50).
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