Laser Induced Local Modification of Silicon Microdevices: a New Technique for Tuning Analogue Microelectronics

Michel Meunier, Mathieu Ducharme, Jean-Yves Degorce, Yougui Liao et Alain Lacourse

Communication écrite (2002)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/25650/
Nom de la conférence:	International Conference on Advanced Laser Technologies (ALT 2002)
Lieu de la conférence:	Adelboden, Switzerland
Date(s) de la conférence:	2002-09-15 - 2002-09-20
Maison d'édition:	Spie-Int Society Optical Engineering
DOI:	10.1117/12.543669
URL officielle:	https://doi.org/10.1117/12.543669
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:20
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:12

Citer en APA 7:	Meunier, M., Ducharme, M., Degorce, J.-Y., Liao, Y., & Lacourse, A. (septembre 2002). Laser Induced Local Modification of Silicon Microdevices: a New Technique for Tuning Analogue Microelectronics [Communication écrite]. International Conference on Advanced Laser Technologies (ALT 2002), Adelboden, Switzerland. https://doi.org/10.1117/12.543669
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