Processing of Metals and Semiconductors by a Femtosecond Laser-Based Microfabrication System

Michel Meunier, Bruno Fisette, Alexis Houle, Andrei V. Kabashin, Sergey V. Broude et Pascal Miller

Communication écrite (2003)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/25649/
Nom de la conférence:	Commercial and Biomedical Applications of Ultrafast Lasers III
Lieu de la conférence:	San Jose, CA, United States
Date(s) de la conférence:	2003-01-25 - 2003-01-31
Maison d'édition:	SPIE - International Society for Optical Engineering
DOI:	10.1117/12.478595
URL officielle:	https://doi.org/10.1117/12.478595
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:20
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:12

Citer en APA 7:	Meunier, M., Fisette, B., Houle, A., Kabashin, A. V., Broude, S. V., & Miller, P. (janvier 2003). Processing of Metals and Semiconductors by a Femtosecond Laser-Based Microfabrication System [Communication écrite]. Commercial and Biomedical Applications of Ultrafast Lasers III, San Jose, CA, United States. https://doi.org/10.1117/12.478595
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