Study of the growth and interface engineering of dense/porous SiNx optical coatings by real-time spectroscopic ellipsometry

Aram Amassian, Richard Vernhes, Jolanta-Ewa Sapieha, Patrick Desjardins, Ludvik Martinu

Communication écrite (2004)

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Renseignements supplémentaires:
MF3
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Nom de la conférence:
Optical Interference Coatings
Lieu de la conférence:
Washington, DC, USA
Date(s) de la conférence:
2004-06-27 - 2004-07-02
Maison d'édition:
Optical Society of America
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:25349
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:00
Citer en APA 7:
Amassian, A., Vernhes, R., Sapieha, J.-E., Desjardins, P., & Martinu, L. (juin 2004). Study of the growth and interface engineering of dense/porous SiNx optical coatings by real-time spectroscopic ellipsometry [Communication écrite]. Optical Interference Coatings, Washington, DC, USA. https://doi.org/10.1364/oic.2004.mf3

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