Study of the growht and interface engineering of dense/porouss SiN1.3 optical coatings by real-time spectroscopic ellipsometry

A. Amassian, R. Vernhes, Jolanta-Ewa Sapieha, Patrick Desjardins et Ludvik Martinu

Communication écrite (2004)

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Renseignements supplémentaires:	MF3
Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/25349/
Nom de la conférence:	Optical Interference Coatings
Lieu de la conférence:	Washington, DC, USA
Date(s) de la conférence:	2004-01-01 - 2004-12-31
Maison d'édition:	Optical Society of America
DOI:	10.1364/oic.2004.mf3
URL officielle:	https://doi.org/10.1364/oic.2004.mf3
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:11

Citer en APA 7:	Amassian, A., Vernhes, R., Sapieha, J.-E., Desjardins, P., & Martinu, L. (janvier 2004). Study of the growht and interface engineering of dense/porouss SiN1.3 optical coatings by real-time spectroscopic ellipsometry [Communication écrite]. Optical Interference Coatings, Washington, DC, USA. https://doi.org/10.1364/oic.2004.mf3
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