Andrei Kabashin, Michel Meunier
Communication écrite (2004)
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Département:
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
Photon Processing in Microelectronics and Photonics III
Lieu de la conférence:
San Jose, CA, United States
Date(s) de la conférence:
2004-01-26 - 2004-01-29
Maison d'édition:
International Society for Optical Engineering
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:24918
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:59
Citer en APA 7:
Kabashin, A., & Meunier, M. (janvier 2004). Laser-assisted methods for nanofabrication [Communication écrite]. Photon Processing in Microelectronics and Photonics III, San Jose, CA, United States. https://doi.org/10.1117/12.532281
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