Andrei Kabashin et Michel Meunier
Communication écrite (2004)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/24918/ |
| Nom de la conférence: | Photon Processing in Microelectronics and Photonics III |
| Lieu de la conférence: | San Jose, CA, United States |
| Date(s) de la conférence: | 2004-01-26 - 2004-01-29 |
| Maison d'édition: | International Society for Optical Engineering |
| DOI: | 10.1117/12.532281 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1117/12.532281 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:19 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:10 |
| Citer en APA 7: | Kabashin, A., & Meunier, M. (janvier 2004). Laser-assisted methods for nanofabrication [Communication écrite]. Photon Processing in Microelectronics and Photonics III, San Jose, CA, United States. https://doi.org/10.1117/12.532281 |
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