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Optical Breakdown Processing: Influence of the Ambient Gas on the Properties of the Nanostructured Si-Based Layers Formed

De Quan Yang, Andrei Kabashin, V. G. Pilon-Marien, Edward Sacher et Michel Meunier

Article de revue (2004)

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Département: Département de génie physique
Centre de recherche: GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/24515/
Titre de la revue: Journal of Applied Physics (vol. 95, no 10)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.1702102
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.1702102
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:19
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:10
Citer en APA 7: Yang, D. Q., Kabashin, A., Pilon-Marien, V. G., Sacher, E., & Meunier, M. (2004). Optical Breakdown Processing: Influence of the Ambient Gas on the Properties of the Nanostructured Si-Based Layers Formed. Journal of Applied Physics, 95(10), 5722-5728. https://doi.org/10.1063/1.1702102

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