De-Quan Yang, Edward Sacher, Michel Meunier
Communication écrite (2004)
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Département:
ISBN:
081945527X
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
Photonics North 2004
Lieu de la conférence:
Ottawa, Ontario, Canada
Date(s) de la conférence:
2004
Maison d'édition:
Spie-Int Society Optical Engineering
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:24511
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:58
Citer en APA 7:
Yang, D.-Q., Sacher, E., & Meunier, M. (2004). Formation of Densely Populated SiOₓ Microtree-Like Structures on the Si (100) Surface, Using Excimer Laser Irradiation in Air [Communication écrite]. Photonics North 2004, Ottawa, Ontario, Canada. https://doi.org/10.1117/12.567860
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