Formation of Densely Populated SiOₓ Microtree-Like Structures on the Si (100) Surface, Using Excimer Laser Irradiation in Air

De-Quan Yang, Edward Sacher et Michel Meunier

Communication écrite (2004)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/24511/
Nom de la conférence:	Photonics North 2004
Lieu de la conférence:	Ottawa, Ontario, Canada
Date(s) de la conférence:	2004
Maison d'édition:	Spie-Int Society Optical Engineering
DOI:	10.1117/12.567860
URL officielle:	https://doi.org/10.1117/12.567860
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:10

Citer en APA 7:	Yang, D.-Q., Sacher, E., & Meunier, M. (2004). Formation of Densely Populated SiOₓ Microtree-Like Structures on the Si (100) Surface, Using Excimer Laser Irradiation in Air [Communication écrite]. Photonics North 2004, Ottawa, Ontario, Canada. https://doi.org/10.1117/12.567860
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