P. Cova, Suzie Poulin, Olivier Grenier, Rémo A. Masut
Article de revue (2005)
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Département:
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Titre de la revue
:
Journal of Applied Physics
(
vol.
97
,
no
7
)
Maison d'édition:
American Institute of Physics
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:24247
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:58
Citer en APA 7:
Cova, P., Poulin, S., Grenier, O., & Masut, R. A. (2005). A Method for the Analysis of Multiphase Bonding Structures in Amorphous SiOₓ Ny Films. Journal of Applied Physics, 97(7). https://doi.org/10.1063/1.1881774
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