P. Cova, Suzie Poulin, Olivier Grenier et Rémo A. Masut
Article de revue (2005)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/24247/ |
| Titre de la revue: | Journal of Applied Physics (vol. 97, no 7) |
| Maison d'édition: | American Institute of Physics |
| DOI: | 10.1063/1.1881774 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1063/1.1881774 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:18 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:09 |
| Citer en APA 7: | Cova, P., Poulin, S., Grenier, O., & Masut, R. A. (2005). A Method for the Analysis of Multiphase Bonding Structures in Amorphous SiOₓ Ny Films. Journal of Applied Physics, 97(7). https://doi.org/10.1063/1.1881774 |
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