Photoacoustic Fourier transform infrared spectroscopy of nanoporous SiOₓ/Si thin films with varying porosities

D.-Q. Yang, Michel Meunier, Edward Sacher

Article de revue (2005)

Accéder à ce document
Lien externe
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie, mais peut être consulté chez l'éditeur officiel
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue :
Journal of Applied Physics ( vol. 98 , no 11 )
Maison d'édition:
American Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:23525
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:19
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:57
Citer en APA 7:
Yang, D.-Q., Meunier, M., & Sacher, E. (2005). Photoacoustic Fourier transform infrared spectroscopy of nanoporous SiOₓ/Si thin films with varying porosities. Journal of Applied Physics, 98(11), 114310 (6 pages). https://doi.org/10.1063/1.2138376

Statistiques

Dimensions

Actions réservées au personnel

Afficher document
Afficher document