Thin film reaction of transition metals with germanium

Simon Gaudet, C. Detavernier, A. J. Kellock, Patrick Desjardins et C. Lavoie

Article de revue (2006)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/23067/
Titre de la revue:	Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 24, no 3)
Maison d'édition:	American Vacuum Society
DOI:	10.1116/1.2191861
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.2191861
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:07

Citer en APA 7:	Gaudet, S., Detavernier, C., Kellock, A. J., Desjardins, P., & Lavoie, C. (2006). Thin film reaction of transition metals with germanium. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 24(3), 474-485. https://doi.org/10.1116/1.2191861
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