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Single-Crystal-Silicon Continuous Membrane Deformable Mirror Array for Adaptive Optics

Il Woong Jung, Yves-Alain Peter, Emily Carr, Jen-Shiang Wang et Olav Solgaard

Communication écrite (2006)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/22931/
Nom de la conférence: IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications
Lieu de la conférence: Big Sky, MT, USA
Date(s) de la conférence: 2006-08-21 - 2006-08-24
Maison d'édition: IEEE
DOI: 10.1109/omems.2006.1708310
URL officielle: https://doi.org/10.1109/omems.2006.1708310
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:17
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:07
Citer en APA 7: Jung, I. W., Peter, Y.-A., Carr, E., Wang, J.-S., & Solgaard, O. (août 2006). Single-Crystal-Silicon Continuous Membrane Deformable Mirror Array for Adaptive Optics [Communication écrite]. IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications, Big Sky, MT, USA. https://doi.org/10.1109/omems.2006.1708310

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