Article de revue (2006)
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Département:
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue
:
Semiconductor Science and Technology
(
vol.
21
,
no
7
)
Maison d'édition:
IOP Publishing
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:22831
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:56
Citer en APA 7:
Liao, Y. G., & Meunier, M. (2006). Arrays of Periodic Submicron Conductive Links in Si Covered by SiO₂ Formed by Polarized Laser Irradiation. Semiconductor Science and Technology, 21(7), 860-865. https://doi.org/10.1088/0268-1242/21/7/006
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