Article de revue (2006)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/22831/ |
| Titre de la revue: | Semiconductor Science and Technology (vol. 21, no 7) |
| Maison d'édition: | IOP Publishing |
| DOI: | 10.1088/0268-1242/21/7/006 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1088/0268-1242/21/7/006 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:17 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:07 |
| Citer en APA 7: | Liao, Y. G., & Meunier, M. (2006). Arrays of Periodic Submicron Conductive Links in Si Covered by SiO₂ Formed by Polarized Laser Irradiation. Semiconductor Science and Technology, 21(7), 860-865. https://doi.org/10.1088/0268-1242/21/7/006 |
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