Stability and effect of annealing on the optical properties of plasma-deposited Ta₂O₅ and Nb₂O₅ films

Ludvik Martinu, J.-P. Masse, Hieronim Szymanowski, Oleg Zabeida, Aram Amassian, Jolanta-Ewa Sapieha

Article de revue (2006)

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Département:
Département de génie physique
Unité de recherche:
RQMP - Regroupement québécois sur les matériaux de pointe
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/22771/
Titre de la revue :
Thin Solid Films ( vol. 515 , no 4 )
Maison d'édition:
Elsevier
DOI:
10.1016/j.tsf.2006.05.047
URL officielle:
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2006.05.047
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:22771
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:17
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:55
Citer en APA 7:
Martinu, L., Masse, J.-P., Szymanowski, H., Zabeida, O., Amassian, A., & Sapieha, J.-E. (2006). Stability and effect of annealing on the optical properties of plasma-deposited Ta₂O₅ and Nb₂O₅ films. Thin Solid Films, 515(4), 1674-1682. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2006.05.047

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