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Deformable MEMS grating for wide tunability and high-operating speed

M. Tormen, Yves-Alain Peter, Ph. Niedermann, A. Hoogerwerf, H. Shea et R. Stanley

Communication écrite (2006)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/22444/
Nom de la conférence: MOEMS, Display, Imaging, and Miniaturized Microsystems IV, part of Photonics West 2006
Lieu de la conférence: San Jose, CA
Date(s) de la conférence: 2006-01-01 - 2006-12-31
Maison d'édition: SPIE - International Society for Optical Engineering
DOI: 10.1117/12.644523
URL officielle: https://doi.org/10.1117/12.644523
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:18
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:06
Citer en APA 7: Tormen, M., Peter, Y.-A., Niedermann, P., Hoogerwerf, A., Shea, H., & Stanley, R. (janvier 2006). Deformable MEMS grating for wide tunability and high-operating speed [Communication écrite]. MOEMS, Display, Imaging, and Miniaturized Microsystems IV, part of Photonics West 2006, San Jose, CA. https://doi.org/10.1117/12.644523

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