Plasma treatment of porous SiNₓ:H films for the fabrication of porous-dense multilayer optical filters with tailored interfaces

R. Vernhes, A. Amassian, Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu

Article de revue (2006)

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Titre de la revue :
Journal of Applied Physics ( vol. 99 , no 11 )
Maison d'édition:
American Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:22411
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:18
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:55
Citer en APA 7:
Vernhes, R., Amassian, A., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2006). Plasma treatment of porous SiNₓ:H films for the fabrication of porous-dense multilayer optical filters with tailored interfaces. Journal of Applied Physics, 99(11), 114315.1-114315.12. https://doi.org/10.1063/1.2202692

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