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Plasma treatment of porous SiNₓ:H films for the fabrication of porous-dense multilayer optical filters with tailored interfaces

R. Vernhes, A. Amassian, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2006)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/22411/
Titre de la revue: Journal of Applied Physics (vol. 99, no 11)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.2202692
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.2202692
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:18
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:06
Citer en APA 7: Vernhes, R., Amassian, A., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2006). Plasma treatment of porous SiNₓ:H films for the fabrication of porous-dense multilayer optical filters with tailored interfaces. Journal of Applied Physics, 99(11), 114315.1-114315.12-114315.1-114315.12. https://doi.org/10.1063/1.2202692

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