Thin Film Solid-State Reactions Forming Carbides as Contact Materials for Carbon-Containing Semiconductors

W. P. Leroy, C. Detavernier, R. L. Van Meirhaeghe et Christian Lavoie

Article de revue (2007)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/21722/
Titre de la revue:	Journal of Applied Physics (vol. 101, no 5)
Maison d'édition:	American Institute of Physics
DOI:	10.1063/1.2561173
URL officielle:	https://doi.org/10.1063/1.2561173
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:16
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:05

Citer en APA 7:	Leroy, W. P., Detavernier, C., Van Meirhaeghe, R. L., & Lavoie, C. (2007). Thin Film Solid-State Reactions Forming Carbides as Contact Materials for Carbon-Containing Semiconductors. Journal of Applied Physics, 101(5), 053714-1. https://doi.org/10.1063/1.2561173
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