Microlens Array Fabrication by Backside Exposure Using Fraunhofer Diffraction

In-Hyouk Song, K. N. Kang, Y. Jin, D. S. W. Park et P. K. Ajmera

Article de revue (2008)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/20233/
Titre de la revue:	Microsystem Technologies-Micro-and Nanosystems-Information Storage and Processing Systems (vol. 14, no 9-11)
Maison d'édition:	Springer
DOI:	10.1007/s00542-007-0510-2
URL officielle:	https://doi.org/10.1007/s00542-007-0510-2
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:16
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:03

Citer en APA 7:	Song, I.-H., Kang, K. N., Jin, Y., Park, D. S. W., & Ajmera, P. K. (2008). Microlens Array Fabrication by Backside Exposure Using Fraunhofer Diffraction. Microsystem Technologies-Micro-and Nanosystems-Information Storage and Processing Systems, 14(9-11), 1285-1290. https://doi.org/10.1007/s00542-007-0510-2
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