In-Hyouk Song, K. N. Kang, Y. Jin, D. S. W. Park, P. K. Ajmera
Article de revue (2008)
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Département:
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Titre de la revue
:
Microsystem Technologies-Micro-and Nanosystems-Information Storage and Processing Systems
(
vol.
14
,
no
9-11
)
Maison d'édition:
Springer
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:20233
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:16
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:52
Citer en APA 7:
Song, I.-H., Kang, K. N., Jin, Y., Park, D. S. W., & Ajmera, P. K. (2008). Microlens Array Fabrication by Backside Exposure Using Fraunhofer Diffraction. Microsystem Technologies-Micro-and Nanosystems-Information Storage and Processing Systems, 14(9-11), 1285-1290. https://doi.org/10.1007/s00542-007-0510-2
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