Nitrogen-Rich Plasma Polymers: Comparison of Films Deposited in Atmospheric- and Low-Pressure Plasmas

Florina Truica-Marasescu, Pierre-Luc Girard-Lauriault, Andreas Lippitz, Wolfgang E. S. Unger, Michael R. Wertheimer

Article de revue (2008)

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Département:
Département de génie physique
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/20164/
Titre de la revue :
Thin Solid Films ( vol. 516 , no 21 )
Maison d'édition:
Elsevier
DOI:
10.1016/j.tsf.2008.02.033
URL officielle:
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2008.02.033
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:20164
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:16
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:52
Citer en APA 7:
Truica-Marasescu, F., Girard-Lauriault, P.-L., Lippitz, A., Unger, W. E. S., & Wertheimer, M. R. (2008). Nitrogen-Rich Plasma Polymers: Comparison of Films Deposited in Atmospheric- and Low-Pressure Plasmas. Thin Solid Films, 516(21), 7406-7417. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2008.02.033

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