A robustness approach for handling modeling errors in parallel-plate electrostatic MEMS control

Guchuan Zhu, Lahcen Saydy, M. Hosseini, J.-F. Chianetta, Yves-Alain Peter

Article de revue (2008)

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Titre de la revue :
Journal of Microelectromechanical Systems ( vol. 17 , no 6 )
Maison d'édition:
IEEE
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:20079
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:16
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:51
Citer en APA 7:
Zhu, G., Saydy, L., Hosseini, M., Chianetta, J.-F., & Peter, Y.-A. (2008). A robustness approach for handling modeling errors in parallel-plate electrostatic MEMS control. Journal of Microelectromechanical Systems, 17(6), 1302-1314. https://doi.org/10.1109/jmems.2008.2005291

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