Aram Amassian, Mariusz Dudek, Oleg Zabeida, S. C. Gujrathi, Jolanta-Ewa Sapieha
, Ludvik Martinu
Article de revue (2009)
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Titre de la revue
:
Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films
(
vol.
27
,
no
2
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:20037
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:14
Dernière modification:
14 oct. 2026 12:51
Citer en APA 7:
Amassian, A., Dudek, M., Zabeida, O., Gujrathi, S. C., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2009). Oxygen incorporation and charge donor activation via subplantation during growth of indium tin oxide films. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 27(2), 362-366. https://doi.org/10.1116/1.3081970
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