Dynamics of reactive high-power impulse magnetron sputtering discharge studied by time- and space-resolved optical emission spectroscopy and fast imaging

Matěj Hala, N. Viau, Oleg Zabeida, Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu

Article de revue (2010)

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Département:
Département de génie physique
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/18217/
Titre de la revue :
Journal of Applied Physics ( vol. 107 , no 4 )
Maison d'édition:
American Institute of Physics
DOI:
10.1063/1.3305319
URL officielle:
https://doi.org/10.1063/1.3305319
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:18217
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:13
Dernière modification:
14 oct. 2026 11:21
Citer en APA 7:
Hala, M., Viau, N., Zabeida, O., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2010). Dynamics of reactive high-power impulse magnetron sputtering discharge studied by time- and space-resolved optical emission spectroscopy and fast imaging. Journal of Applied Physics, 107(4), 043305. https://doi.org/10.1063/1.3305319

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