Cylindrical Surfaces Enable Wavelength-Selective Extinction and Sub-0.2 Nm Linewidth in 250 Mu M-Gap Silicon Fabry-Perot Cavities

Maurine Malak, Frédéric Marty, Nicolas Pavy, Yves-Alain Peter, Ai-Qun Liu, Tarik Bourouina

Article de revue (2012)

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Département:
Département de génie physique
Adresse URL de PolyPublie:
https://publications.polymtl.ca/15030/
Titre de la revue :
Journal of Microelectromechanical Systems ( vol. 21 , no 1 )
Maison d'édition:
IEEE
DOI:
10.1109/jmems.2011.2174427
URL officielle:
https://doi.org/10.1109/jmems.2011.2174427
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:15030
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:11
Dernière modification:
14 oct. 2026 11:16
Citer en APA 7:
Malak, M., Marty, F., Pavy, N., Peter, Y.-A., Liu, A.-Q., & Bourouina, T. (2012). Cylindrical Surfaces Enable Wavelength-Selective Extinction and Sub-0.2 Nm Linewidth in 250 Mu M-Gap Silicon Fabry-Perot Cavities. Journal of Microelectromechanical Systems, 21(1), 171-180. https://doi.org/10.1109/jmems.2011.2174427

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