Mechanisms of plasmon-enhanced femtosecond laser nanoablation of silicon

Alexandre Robitaille, Etienne Boulais et Michel Meunier

Article de revue (2013)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/13196/
Titre de la revue:	Optics Express (vol. 21, no 8)
Maison d'édition:	Optical Society of America
DOI:	10.1364/oe.21.009703
URL officielle:	https://doi.org/10.1364/oe.21.009703
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:10
Dernière modification:	05 avr. 2024 10:53

Citer en APA 7:	Robitaille, A., Boulais, E., & Meunier, M. (2013). Mechanisms of plasmon-enhanced femtosecond laser nanoablation of silicon. Optics Express, 21(8), 9703-9710. https://doi.org/10.1364/oe.21.009703
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