Fabrication and testing of nanoporous Si₃N₄ optical filters for gas sensing applications

R. Vernhes, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2013)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/12983/
Titre de la revue:	Sensors and Actuators B: Chemical (vol. 185)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/j.snb.2013.04.064
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/j.snb.2013.04.064
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:10
Dernière modification:	05 avr. 2024 10:52

Citer en APA 7:	Vernhes, R., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2013). Fabrication and testing of nanoporous Si₃N₄ optical filters for gas sensing applications. Sensors and Actuators B: Chemical, 185, 504-511. https://doi.org/10.1016/j.snb.2013.04.064
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