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Effect of implantation temperature on the H-induced microstructural damage in AlN

U. Dadwal, P. Kumar, Oussama Moutanabbir, M. Reiche et R. Singh

Article de revue (2014)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/12527/
Titre de la revue: Journal of Alloys and Compounds (vol. 588)
Maison d'édition: Elsevier
DOI: 10.1016/j.jallcom.2013.10.227
URL officielle: https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2013.10.227
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:08
Dernière modification: 05 avr. 2024 10:52
Citer en APA 7: Dadwal, U., Kumar, P., Moutanabbir, O., Reiche, M., & Singh, R. (2014). Effect of implantation temperature on the H-induced microstructural damage in AlN. Journal of Alloys and Compounds, 588, 300-304. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2013.10.227

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