Olav Solgaard, Asif A. Godil, Roger T. Howe, Luke P. Lee, Yves-Alain Peter
, Hans Zappe
Article de revue (2014)
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Titre de la revue
:
Journal of Microelectromechanical Systems
(
vol.
23
,
no
3
)
Maison d'édition:
IEEE
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:11548
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:08
Dernière modification:
14 oct. 2026 11:11
Citer en APA 7:
Solgaard, O., Godil, A. A., Howe, R. T., Lee, L. P., Peter, Y.-A., & Zappe, H. (2014). Optical MEMS: From micromirrors to complex systems. Journal of Microelectromechanical Systems, 23(3), 517-538. https://doi.org/10.1109/jmems.2014.2319266
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