Olav Solgaard, Asif A. Godil, Roger T. Howe, Luke P. Lee, Yves-Alain Peter
et Hans Zappe
Article de revue (2014)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/11548/ |
| Titre de la revue: | Journal of Microelectromechanical Systems (vol. 23, no 3) |
| Maison d'édition: | IEEE |
| DOI: | 10.1109/jmems.2014.2319266 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1109/jmems.2014.2319266 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:08 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 10:50 |
| Citer en APA 7: | Solgaard, O., Godil, A. A., Howe, R. T., Lee, L. P., Peter, Y.-A., & Zappe, H. (2014). Optical MEMS: From micromirrors to complex systems. Journal of Microelectromechanical Systems, 23(3), 517-538. https://doi.org/10.1109/jmems.2014.2319266 |
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